A félvezetőipari gyártóeszközök fejlesztésével és gyártásával foglalkozó holland ASML berlini üzemében 2022. január 3-án tűz ütött ki, amit a hírek szerit viszonylag hamar sikerült megfékezni. Az első beszámoló alkalmával még nem derült ki, pontosan mekkora fennakadásokat és károkat okoz az eset a csúcstechnológiás gyártóeszközök termelésében, a vállalat vezetése későbbre ígért tájékoztatást. Annyi biztos volt, hogy az esemény a félvezetőipari gépekben használt mechanikai és optikai komponensek termelését érinti.
Azóta eltelt néhány nap, ki is adtak egy közleményt, amelyből kiderül egy s más. Ez alapján úgy tűnik, hogy a DUV, azaz a Deep-UltraViolet technológiát használó, kevésbé modern gyártóeszközök termelését nem érintette az esemény, ebben a részlegben már sikerült is újraindítani a gyártást, azaz komolyabb kiesésre nem is számíthatunk ebben a szegmensben. Nagyobb probléma, hogy a legmodernebb csíkszélességek által használt EUV, azaz Extreme UltraViolet alapú gyártóeszközök részlege már nem volt ilyen szerencsés, azt ugyanis érintette a tűz. A berlini üzemnek csak egy részén ütött ki tűz, a szomszédos épületet csak a tűz közben keletkezett füst érintette, a többi üzemegységben nem keletkezett kár, így azok zavartalanul működhetnek.
Az EUV gépek gyártása éppen ezért jelenleg áll, az illetékesek most az újraindítással kapcsolatos ütemtervet próbálják összeállítani, így egyelőre azt sem tudják pontosan megmondani, mikor indulhat meg ismét a termelés. Az ütemterv kialakítása során nagy figyelmet fordítanak arra, hogy minimalizálják az összes lehetséges negatív hatást, ami az EUV alapú gyártóeszközök vásárlóit érintheti. EUV gyártástechnológiát egyébként az 5 nm-es, illetve az érkező 3 nm-es gyártástechnológiáknál használnak az iparági szereplők, mint például a Samsung, a TSMC és az Intel. A trióból a TSMC az ASML legnagyobb vásárlója.
Az ASML a tervek szerint a tavalyi negyedik negyedéves és teljes éves pénzügyi beszámolóját várhatóan 2022. január 19-én publikálja, akkor újabb részletek is napvilágot láthatnak majd a tűzesettel, illetve a termelés helyreállításának tervezett menetével kapcsolatban.
